产品介绍
TEUS-LPP 紧凑型激光驱动等离子体极紫外光源基于快速旋转液态金属靶，这种新型LPP靶结合了传统的碎片减缓技术，是清洁极紫外光源的最佳解决方案。基于其亮度高、洁净、能量抖动小等特点，非常适合大规模生产中基于 EUV 显微的掩模版检测等需要高亮度 EUV 光源的应用场景，或者小规模光刻生产与实验等应用方向。经过数台 TEUS 的交付，已经验证该光源的性能及稳定性。
特征优势
1将液滴碎片重定向远离输入（激光）和输出（EUV）窗口
2用于高重复率激光系统（高达1Mhz）的不受干扰的靶材表面
3由于靶材是连续的，所需的同步最小
4高亮度，高通量，优秀的空间稳定性
5极高的正常运行时间
6高占空比，交钥匙作业
规格参数
| 型号 | EUV收集角（sr） | 激光平均功率（W） | 脉宽（ns） | 重频（kHz） | 等离子体尺寸*（μm） | 亮度（W/mm2sr） | EUV功率（mW） | 收集镜** 寿命 |
| TEUS-S100 | 0.05 | 100 | 1.5 | 25 | ≤60 | 110 | 5 | >1年 |
| TEUS-S200 | 200 | 50 | 220 | 10 | >半年 | |||
| TEUS-S400 | 400 | 100 | 450 | 20 | >半年 |
* : 定义为等离子强度分部1/e2的直径
**：收集镜为系统选配
典型应用
- 掩膜及表面检测
- 图形化掩膜检测(PMI)
- 掩膜空间像检测(AIMS)
- 空白掩膜版检测(MBI)
- 材料科学
- 晶圆检测
- 极紫外扫描光刻工艺链中的极紫外光学器件检测
使用环境要求
| 型号 | 供电功耗 | 尺寸（长x宽x高） | 重量（含激光部件） | 洁净间级别 | 水流速 |
| TEUS-S100 | 6.5 kW | 1500x1000x1200 mm | 770kg | ISO7 | 10 L/min |
| TEUS-S200 | 8.5 kW | 1500x1000x1200 mm | 770kg | ISO7 | 15 L/min |
| TEUS-S400 | 10.5 kW | 1500x1000x1200 mm | 770kg | ISO7 | 25 L/min |
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