独家授权! proLINE 紧凑型软X射线光源
特点：激光驱动等离子体的 EUV 光源、高光子通量、单色或宽带连续的EUV光输出、多种定制波长可选、无电极污染，产生碎屑少、小光源尺寸，高亮度。 1-20nm (60-1000eV) 光谱范围内的交钥匙辐射源。长期稳定的等离子源，维护成本低，通过软件控制进行直观操作。可选配聚焦装置和单色器。
型号: proLINE
品牌: HP Spectroscopy
产品介绍
紧凑型激光驱动等离子体 EUV 光源
1-20nm (60-1000eV) 光谱范围内的交钥匙辐射源。
长期稳定的等离子源，维护成本低，通过软件控制进行直观操作。
* 可选配聚焦装置和单色器。
特征优势
1高光子通量
2单色或宽带连续的EUV光输出
3多种定制波长可选
4无电极污染，产生碎屑少
5小光源尺寸，高亮度
规格参数
类型 | 无碎屑激光驱动等离子体XUV源 | ||
气体靶材 | 氪气、氮气、氙气等多种气体靶材可选 | ||
重复率 | 20Hz | ||
源功率稳定性 | ±1.5% | ||
波长范围 | 1.5nm-6nm, 2.16nm, 2.48nm, 2.88nm, 13.0nm, 13.5nm等多种波长可选 | ||
发散角度 | 2pi | ||
真空兼容度 | <10-6mbar（更高真空度可定制） | ||
激光安全等级 | 1 | ||
占地面积 | 1m x 1m | ||
氪气 | 氮气 | 氙气 | |
能量范围 | 1.5-6nm | 2.48nm, 2.88nm | 13.0nm, 13.5nm |
光通量 | 2·1015ph/s/sr | 1·1014ph/s/sr | 7·1014ph/s/s |
输出功率（2pi发散角） | 200mW | 10mW | 70mW |
典型应用
- EUV计量
- 掩模缺陷检测
- 抗蚀剂开发
- 极紫外显微
- 水窗显微
- NEXAFS光谱
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