X射线中心截补器 beamstop

用于1000nm到0.01nm波段（1eV到100keV）

由于特征尺寸可低至微米量级， X射线光刻技术已经成为一种极富吸引力的制造方法。来自德国的Microworks公司是推动LIGA技术发展的市场领导者， 可为客户提供最高质晕和最高精度且价格合理的高精度微结构。

基于成熟的LIGA技术，Microworks的光束截补器（beamstops）具有多功能、性价比高且性能优越等特点。用于波带片成像，beamstop尺寸从10μm到160μm。自支撑结构，由3个薄鳍边承载圆柱形光束截补器。